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【電機】東芝と韓国SK Hynix、次世代半導体露光技術NILの共同開発で正式契約

【電機】東芝と韓国SK Hynix、次世代半導体露光技術NILの共同開発で正式契約
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東芝とSK Hynix、次世代半導体露光技術の共同開発で正式契約【Impress Watch】 (2015/2/5 15:25)
株式会社東芝は、次世代半導体露光技術「ナノインプリントリソグラフィ」(NIL)の共同開発で、韓国SK Hynixと正式契約を締結したことを発表した。東芝では、半導体製造装置メーカーや材料メーカー各社と共同でNILの開発を進めてきたが、SK Hynixと共同で行なうことでそのプロセス開発を加速し、2017年の実用化を目指す。

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Posted by ゆでたてのたまご ★

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