【企業】ニコン、蘭ASMLを特許侵害で提訴 半導体露光装置巡り
ニコンは24日、半導体露光装置の特許を巡って、オランダのASMLなどに対し特許侵害の訴訟を起こしたと発表した。半導体露光装置の販売差し止めと、損害賠償を請求している。オランダのハーグ地方裁判所、ドイツのマンハイム地方裁判所、東京地方裁判所に、同日提起した。今回の訴訟はASMLと、同社に光学部品を供給する独カールツァイスSMTの2社に対し提起している。
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