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韓国SKハイニックス、キヤノン製の半導体露光装置を導入…「3D NANDを高度化」5/5

韓国SKハイニックス、キヤノン製の半導体露光装置を導入…「3D NANDを高度化」5/5
朝鮮日報

SKハイニックスは今年、日本のキヤノンからナノインプリント露光装置を導入し、テストを進めている。2025年ごろに同装置を使い、3D(3次元)NAND型フラッシュメモリーの量産を開始することを目標に研究開発を進めており、これまでのテスト結果が順調であるため、量産用設備も追加発注される見通しだ。半導体業界によると、SKハイニックスは今年、キヤノンからナノインプリント露光装置のテスト装備を購入し、3D NAND型フラッシュメモリーの生産工程に適用するためのテストを進めている。

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