【技術】東芝が「感度100倍」MEMSマイク開発 不具合を「音」で検知
(2017/6/19 05:00)
東芝は「スピントロニクス技術」を応用したMEMS(微小電気機械システム)マイクロホンを世界で初めて開発した。電子が持つ電荷とスピンの両方の性質を利用する同技術を使い、従来の半導体製ひずみ検知素子の100倍以上の感度を持つスピン型ひずみ検知素子を作り、搭載。人の耳には聞こえない超音波まで検出可能。
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