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【フッ化水素】韓国のSKマテリアルズ、純度99.999%の超高純度フッ化水素の量産開始

【フッ化水素】韓国のSKマテリアルズ、純度99.999%の超高純度フッ化水素の量産開始
中央日報

もうホルホルするしかない
SKマテリアルズが超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。17日、SKグループによると、SKマテリアルズは最近、純度99.999%の超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。超高純度フッ化水素ガス半導体の製造に使われる洗浄ガスで、半導体工程微細化で需要が急増しているが、日本などの海外依存度が100%に達していた。

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