韓国メディア「サムスンが液体フッ化水素を再利用する技術を開発」 韓国ネット「日本から輸入できなければおしまいだと言ってた人…★2
2021年2月15日、韓国・マネートゥデイは、サムスン電子が半導体洗浄に使用される液体フッ化水素を再利用するシステムを開発し、テスト運営に入ったと伝えた。半導体業界によると、サムスン電子が開発したのはフッ化水素洗浄液を内部循環装置で回収し再利用するというシステムで、華城(ファソン)半導体事業場の1ラインでテスト運営を行っている。
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