【技術】周波数精度「水晶」並みのシリコン半導体発振器を開発、東芝
東芝は水晶発振器に匹敵する精度を持つシリコン半導体製の発振器を開発した。水晶発振器に比べて約3分の1の小型化が見込めるうえ、ほかの部品との一体集積化が可能になる。開発したのは、既存の半導体プロセスで作れる相補型金属酸化膜半導体(CMOS)発振器。素子の温度をテストするためのオンチップヒーター、発振器内の温度を測る温度計、周波数特性を補正するためのデジタル回路を加えた回路を構成した。
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