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【技術/半導体】アルバック、CMOS搭載MEMSデバイスを実現する低温PZTスパッタ技術を開発

【技術/半導体】アルバック、CMOS搭載MEMSデバイスを実現する低温PZTスパッタ技術を開発
マイナビニュース

アルバックは3月25日、次世代MEMSデバイスとして期待されるCMOS搭載MEMSデバイス向け量産対応低温PZTスパッタリング技術を開発したと発表した。インクジェットプリンタのヘッドやカメラのオートフォーカス用アクチュエータなどの圧電MEMSには、圧電材料であるPZT(チタン酸ジルコン酸塩、Pb(Zr,Ti)O3)の薄膜が用いられているが、次世代技術として、そうした圧電MEMSとCMOS技術を融合することで、デバイスの高性能化・多機能化・小型化を図ろうという動きが活発化してきている。

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