★科学ニュース＋ 12res 平均投稿時速：0.0res/h 対板現在投稿率：0.0%

【技術/半導体】アルバック、CMOS搭載MEMSデバイスを実現する低温PZTスパッタ技術を開発

【技術/半導体】アルバック、CMOS搭載MEMSデバイスを実現する低温PZTスパッタ技術を開発
マイナビニュース

アルバックは3月25日、次世代MEMSデバイスとして期待されるCMOS搭載MEMSデバイス向け量産対応低温PZTスパッタリング技術を開発したと発表した。インクジェットプリンタのヘッドやカメラのオートフォーカス用アクチュエータなどの圧電MEMSには、圧電材料であるPZT(チタン酸ジルコン酸塩、Pb(Zr,Ti)O3)の薄膜が用いられているが、次世代技術として、そうした圧電MEMSとCMOS技術を融合することで、デバイスの高性能化・多機能化・小型化を図ろうという動きが活発化してきている。

>>続きを読む

▼ このページの中段へ

科学ニュース＋

投稿時速：9res/h
もっと見る >一覧
  1. 44res 2.3res/h 33.3%

    【話題】「めっちゃバレエ」 なぜか踊る人間に見えてしまう多面体が830万表示 画像あり

  2. 15res 0.7res/h 33.3%

    【AI】朝日新聞社のLLM評価手法論文、国際学会EMNLPで採択・・・AI応答に含まれる嘘の低減につながる研究 画像あり

  3. 52res 0.7res/h 33.3%

    【宇宙開発】京大、世界初の木造人工衛星「LignoSat」打ち上げ 画像あり

  4. 1res 0.0res/h 0.0%

    【物理】仁科賞に下浦氏ら3氏 中性子や超伝導、スピン研究 画像あり

  5. 2res 0.1res/h 0.0%

    【天文】「オーロラ出ていないか確認を」研究者も驚くデータは市民の写真から 画像あり

  6. 14res 0.7res/h 0.0%

    【研究者】「ハダカデバネズミ」研究でがん抑制に期待 熊本大学・三浦恭子教授に「女性研究者賞」 ソロプチミスト日本財団 画像あり

  7. 13res 0.6res/h 0.0%

    【化学】プルトニウムの新たな同位体「プルトニウム227」の合成に成功 中国科学院

  8. 30res 1.5res/h 0.0%

    【ナゾロジー】量子電池は充電量を超えたエネルギーを放出できる 画像あり

  9. 5res 0.2res/h 0.0%

    【ナゾロジー】授業中に「スマホチェックの休憩」を取ったら生徒の成績が向上した 画像あり

  10. 3res 0.1res/h 0.0%

    【天文】ブラックホール「LID-568」は理論上の限界の40倍以上という驚異的速度で成長している

▲ このページのトップへ

トップニュース

【独自】松本人志さんがコメント発表へ「不快な思いをされたり心が痛められた方がいるとすればお詫びする」「物的証拠ないと確認」★4

ホットキーワード

注目ニュース

総合トップ10

  1. ★芸能･スポーツ速報＋ 709res 879res/h

    【独自】松本人志さんがコメント発表へ「不快な思いをされたり心が痛められた方がいるとすればお詫びする」「物的証拠ないと確認」★4

  2. ★ニュース速報＋ 796res 483res/h

    【社会】高校生の子ども「東京で働くから自動車免許はとらない」東京でも免許はあったほうが便利?

  3. ★芸能･スポーツ速報＋ 198res 341res/h

    松本人志「訴訟終結」X投稿 10分でコメント1200件超「待ってました」「松ちゃんがいないTVは寂しくて」「M-1に間に合って」

  4. ★芸能･スポーツ速報＋ 786res 571res/h

    松本人志氏との訴訟について、週刊文春コメント

  5. ★芸能･スポーツ速報＋ 26res 251res/h

    三浦瑠麗氏、松本人志にエール「裁判が終結してよかったと思います。松本さんがやりたかったお笑いを、そして今後のご活動を心より応援」

  6. ★東アジアニュース速報＋ 342res 140res/h

    石破首相とトランプ氏会談わずか5分の衝撃 韓国・尹大統領の半分以下

  7. ★ニュース速報＋ 995res 450res/h

    【フレンドリー】トランプ氏と電話会談、韓国大統領12分、仏大統領25分、石破首相5分

  8. ★芸能･スポーツ速報＋ 254res 176res/h

    品川祐 新幹線で「弁当食べる人」への不満告白に視聴者激怒「そんなもん個人の自由やろ」JRからは“当たり前の回答”が

  9. ★ニュース速報＋ 494res 171res/h

    成人向け漫画を在校生なら割引きで買える 学生のSNS投稿に東京電機大学が謝罪「大学として厳重に対処

  10. ★芸能･スポーツ速報＋ 516res 339res/h

    パックン、米大統領戦に憤慨「もうトランプには怒っていないですけど、アメリカ国民に怒っている」「僕は絶望しています」

新着ニュース

  1. ★芸能･スポーツ速報＋ 1res

    【サッカー】バーレーン協会に約175万円の罰金処分…日本代表戦でレーザーポインター照射&国歌斉唱を妨害 画像あり

  2. ★芸能･スポーツ速報＋ 4res

    ミズノ、サッカーシューズが部活生に強い支持 24年4～9月期業績も過去最高更新 画像あり

  3. ★芸能･スポーツ速報＋ 7res

    野球場「取り壊し」通告に学生が反対署名提出 秋田大・南谷学長「今の状況では資金出せない」 画像あり

  4. ★芸能･スポーツ速報＋ 26res

    三浦瑠麗氏、松本人志にエール「裁判が終結してよかったと思います。松本さんがやりたかったお笑いを、そして今後のご活動を心より応援」 画像あり

  5. ★芸能･スポーツ速報＋ 4res

    【野球】日本学生野球協会、高校8件処分 校名非公表2件はわいせつ行為、盗撮事案で監督を除名処分 画像あり

  6. ★ニュース速報＋ 42res

    関電本店にミャクミャク像3体 風速40メートルの強風も大丈夫… 画像あり

  7. ★東アジアニュース速報＋ 28res

    【毎日新聞】税滞納で永住資格取り消し 外国人の安心奪う愚策 ★3 画像あり

  8. ★東アジアニュース速報＋ 12res

    韓国で大谷翔平の特別展「SHO-TIME」開催決定!実使用ベルトなど展示、ソウルで12月8日まで 画像あり

  9. ★芸能･スポーツ速報＋ 4res

    【六大学野球】早大野球部 六大学野球、春秋連覇は目前に 宿敵撃破で歓喜の渦へ/慶大戦展望 画像あり

  10. ★芸能･スポーツ速報＋ 95res

    松本人志裁判 週刊文春側もコメント「女性らと協議のうえ、被告として取り下げに同意することに…」 画像あり

PC版