【流体力学】マイクロサイズの液滴挙動の観察に成功 立体構造物やより広範囲への均質成膜に期待
NEDOプロジェクトにおいて、東京大学は、高温の固体に滴下した際のマイクロメーターサイズの液滴挙動の観察に成功し、液滴が固体表面上を飛び跳ねるなど複雑な挙動を示すことを明らかにしました。今後、これまで成膜が困難であった配管やバルブなどの立体構造物やディスプレイモニタといった、より広範囲の均質成膜への鍵となることが期待されます。
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