【技術】シリコンフォトニクスの画期的な光入出力技術を開発 独自の表面垂直結合で光と電子の集積実装に向けて大きく前進
ポイント
•独自のイオン注入技術によりシリコン光配線の先端を数μmの曲げ半径で垂直方向に立体湾曲• 光ファイバーとの高効率な垂直光結合を実現し、波長、角度、偏光の許容帯域を大幅に拡大•シリコン光電子集積回路へ光部品を表面実装する技術として期待概要
国立研究開発法人 産業技術総合研究所【理事長 中鉢 良治】(以下「産総研」という)電子光技術研究部門【研究部門長 森 雅彦】3次元フォトニクスグループ
榊原 陽一 研究グループ長、吉田 知也 主任研究員らは、従来難しいとされてきた、シリコン光集積回路への光ファイバーや光部品の表面実装を容易にする光結合技術を開発した。
