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【技術】ダイヤモンドウェハ向け機械的ダメージフリー平坦化技術を開発 金沢大

【技術】ダイヤモンドウェハ向け機械的ダメージフリー平坦化技術を開発 金沢大
マイナビニュース

金沢大、ダイヤモンドウェハ向け機械的ダメージフリー平坦化技術を開発金沢大学は4月20日、ダイヤモンドに対する研磨の代替技術となる「機械的ダメージフリー平坦化技術」を開発したことを発表した。

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