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【センサ】東大など、1024個の分子センサを5mm四方に集積化したセンサアレイを開発

【センサ】東大など、1024個の分子センサを5mm四方に集積化したセンサアレイを開発
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東大など、1024個の分子センサを5mm四方に集積化したセンサアレイを開発著者:波留久泉
東京大学(東大)、慶應義塾大学(慶大)、科学技術振興機構の3者は1月24日、1024個の堅牢な金属酸化物ナノ薄膜分子センサを5mm四方の内部に集積化したセンサアレイチップを開発し、1平方cm以下の領域における空気中の分子の濃度分布を可視化することに成功したと発表した。

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