【半導体技術】名大など、独自開発したプラズマ技術で金属炭化物のドライエッチングに成功
名大など、独自開発したプラズマ技術で金属炭化物のドライエッチングに成功名古屋大学(名大)は12月16日、独自開発した「フローティングワイヤープラズマ」にアンモニア水蒸気を導入することにより、チタンとアルミの3元金属炭化物「TiAlC」の表面変質層を形成し、この材料を揮発除去するドライエッチングに成功したことを発表した。
関連ニュース
-
★科学ニュース＋ 21res 0.0res/h
【物性】理研など、質量ゼロの電子と液晶のような電子状態が共存する物質を発見
-
★科学ニュース＋ 12res 0.0res/h
【半導体】名大と旭化成が世界初、「深紫外半導体レーザーの室温連続発振」成功でつけた道筋
科学ニュース＋
投稿時速：2res/h
保守派もリベラル派も「自分の政治的信念に合致したニュース」を信じやすいという研究結果
-
19res 1.7res/h 140.0%
【ナゾロジー】カフェインを控えすぎると記憶障害になるリスクが「3倍」近く増加すると判明
-
25res 2.3res/h 0.0%
保守派もリベラル派も「自分の政治的信念に合致したニュース」を信じやすいという研究結果
-
11res 1.0res/h 0.0%
【ナゾロジー】大気圧で押し出す「吊るさない点滴」を開発!治療中の移動が楽に
-
15res 1.3res/h 0.0%
善の顔と悪の顔を使い分ける「ジキルとハイド」的な上司は従業員に多大なダメージを与える
-
10res 0.9res/h 0.0%
【環境】COP29、途上国支援に年3000億ドルで合意
-
29res 2.6res/h 0.0%
【天文】ダークエネルギーが「逆再生ビッグバン」でブラックホールから生成されているとの研究結果が報告される
-
9res 0.8res/h 0.0%
【ナゾロジー】生命エネルギーの基礎は地球の地熱システムをコピペして作られた
-
112res 3.6res/h 0.0%
小売店が「レジ袋を有料化」するとかえってレジ袋の販売数が増加することが研究で判明
-
47res 1.5res/h 0.0%
【資源】データセンター対応で化石燃料使用急増の恐れ、再エネ開発追いつかず
-
70res 2.2res/h 0.0%
【食】「一握りのナッツ」を毎日食べている人は認知症のリスクが低いとの研究結果
