【半導体技術】名大など、独自開発したプラズマ技術で金属炭化物のドライエッチングに成功
名大など、独自開発したプラズマ技術で金属炭化物のドライエッチングに成功名古屋大学(名大)は12月16日、独自開発した「フローティングワイヤープラズマ」にアンモニア水蒸気を導入することにより、チタンとアルミの3元金属炭化物「TiAlC」の表面変質層を形成し、この材料を揮発除去するドライエッチングに成功したことを発表した。
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