【材料】1時間を要したナノシート成膜を1分に短縮 名大が開発した新技術とは
1時間を要したナノシート成膜を1分に短縮 名大が開発した新技術とは
名古屋大学(名大)は4月6日、酸化物、グラフェン、窒化ホウ素などの二次元物質(ナノシート)を、1分程度の短時間で基板上に隙間なく配列して薄膜を作製する新技術「高速薄膜作製法」を開発したことを発表した。
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