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【解説/半導体】「第2のムーアの法則」提唱…半導体再興へ、チップレット配線を微細化
「第2のムーアの法則」提唱…半導体再興へ、チップレット配線を微細化大阪公立大学の笹子勝客員教授は、パナソニックでエキシマレーザーを使った半導体微細加工向けリソグラフィー技術を開発。28ナノメートル(ナノは...
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【半導体】OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案
OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案沖縄科学技術大学院大学(OIST)は7月29日、小型のEUV光源でも動作し、消費電力が従来の10分の1以下にまで減らせる、これまでの先端半導体製造の...