【技術】早大、ミラーが全体の80%占めるMEMSスキャナー 3Dデバイス小型化に貢献
試作したMEMSスキャナー(早大提供)
早稲田大学理工学術院基幹理工学部の岩瀬英治准教授らの研究チームは、約1・5ミリメートル四方のミラーが全体面積の約80%を占める新型の微小電気機械システム(MEMS)スキャナー(走査装置)を開発した。ミラー面積を従来と同等にした場合、MEMSスキャナーのサイズを4分の1程度に小さくできる可能性がある。
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