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【社会】総務省、東京エレクに行政指導 高周波電源の使用で

【社会】総務省、東京エレクに行政指導 高周波電源の使用で
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2022/8/8 16:54 (JST)
© ロイター
東京 8日 ロイター] - 総務省は8日、東京エレクトロン子会社に対して、許可を受けずに高周波利用設備を設置し運用していたとして、行政指導を行ったと発表した。今後、このような事態が起きないよう指導した。同社の広報担当によると、半導体製造装置に搭載の高周波電源等の使用に関し、電波法上の許可申請を行っていなかった。

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