「日本の先端半導体の復権に協力する」、imec CEO
中道 理 日経クロステック/日経エレクトロニクス
2022.11.16
最先端半導体研究の総本山というべき存在が、ベルギーの研究機関imecだ。先端半導体製造に欠かせない次世代のEUV(極端紫外線)露光装置の開発も、imecとオランダASMLホールディングとの共同プロジェクトとして進められている。
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