【技術】生体への影響が懸念されるフッ素系ガスにのみ応答する検知技術を開発
ポイント
• エッチング用のフッ素系ガス成分にのみ応答する高感度なガス漏洩検知器を開発
• 単結合のみからなるパーフルオロカーボンなど冷媒用のフッ素系液体の蒸気には応答しない検知剤を搭載
• 生体への影響が懸念される他のハロゲン系ガスの漏洩検知への展開も期待
概要
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