【技術】試料を動かさず精度20倍でスキャン。理研が走査型X線顕微鏡の新技術
試料を動かさず精度20倍でスキャン。理研が走査型X線顕微鏡の新技術理化学研究所の山田純平基礎科学特別研究員らと名古屋大学、大阪大学の共同研究グループは、走査型X線顕微鏡用の新しい高精度スキャン技術「X線ナノプローブスキャナー」を開発した。試料を動かさずにスキャンでき、スキャン精度は原子数個分に相当する1ナノメートル(ナノは10億分の1)程度と従来手法の10―20倍を実現した。
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試料を動かさず精度20倍でスキャン。理研が走査型X線顕微鏡の新技術理化学研究所の山田純平基礎科学特別研究員らと名古屋大学、大阪大学の共同研究グループは、走査型X線顕微鏡用の新しい高精度スキャン技術「X線ナノプローブスキャナー」を開発した。試料を動かさずにスキャンでき、スキャン精度は原子数個分に相当する1ナノメートル(ナノは10億分の1)程度と従来手法の10―20倍を実現した。
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