【半導体技術】韓国環境部が「超純水実証プラント」を着工、半導体用超純水の国産化を支援
韓国環境部が「超純水実証プラント」を着工、半導体用超純水の国産化を支援著者:服部毅
韓国の環境部(日本の環境省に相当)は、傘下の韓国水資源公社および韓国環境産業技術院とともに、半導体用超純水製造技術の国産化に向けた第一歩として「超高純度工業用水(超純水)実証プラント」を、韓国のシリコンウェハメーカーであるSK Siltronの構内に建設することを明らかにした。
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