【半導体】韓国半導体装置企業が「ベベル・エッチャー」を国産化 米ラムリサーチと特許紛争可能性も
韓国半導体装置企業が「ベベル・エッチャー」を国産化 米ラムリサーチと特許紛争可能性も
半導体感光液洗浄(ストリップ)装備で世界1位のシェアを持つ韓国企業PSKが、最近エッチング装備の一つである「ベベル・エッチャー」を国産化したことが分かった。韓国の専門紙であるETNEWSは16日、「PSKは最近、ベベル・エッチャー装備技術開発を完了し、国内(韓国)半導体メーカーと供給協議に入った」と報じた。
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