【技術】韓国企業がついにEUV用フォトレジストを国産化か!?…日本の輸出規制品 有力紙報じる
韓国企業がついにEUV用フォトレジストを国産化か⁉…日本の輸出規制品 有力紙報じる
韓国企業がサムスン電子の強力なバックアップにより極紫外線(EUV)フォトレジスト(PR)の開発に成功したとの報道が出ている。韓国の有力専門紙であるEtnewsは19日、業界関係者への取材をもとに「ドンジンセミケム社が最近、サムスン電子のEUV PRの信頼性テスト(クォール)を通過したことが19日に分かった」と報じた。
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