【技術】世界最高レベルのQ値を有する光ナノ共振器の大量作製に成功 従来の100万倍のスピードで作製
研究成果のポイント
•工業生産に適したフォトリソグラフィ法を使用し、従来の100万倍のスピードで作製• 世界最高レベルのQ値(注1)150万を達成、超高Q値光ナノ共振器の普及へ• シリコンレーザーや光メモリー、簡便に使える医療診断センサーの開発等応用に期待研究概要
公立大学法人大阪府立大学(理事長:辻 洋)工学研究科の高橋和准教授と、国立研究開発法人産業技術総合研究所(理事長:中鉢 良治) 電子光技術研究部門の森雅彦研究部門長、岡野誠研究員の研究グループは、世界で初めて、工業生産に適したフォトリソグラフィ法を用いて、100万以上のQ値を有する光ナノ共振器を作製することに成功しました。