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【解説/半導体材料】次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは?

【解説/半導体材料】次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは?
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次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは?大阪大学の森勇介教授(名古屋大学教授を兼務)は30年前に「CLBO結晶」を開発した。同結晶は紫外レーザーの波長変換素子として、今や次世代半導体の製造に用いる極端紫外線(EUV)露光の前工程と後工程に必須の素材だ。

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