【半導体】OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案
OIST、消費電力従来比1/10以下のEUVリソグラフィー半導体製造技術を提案沖縄科学技術大学院大学(OIST)は7月29日、小型のEUV光源でも動作し、消費電力が従来の10分の1以下にまで減らせる、これまでの先端半導体製造の常識を覆す「EUV(極端紫外線)リソグラフィー」技術を提案したことを発表した。
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