【半導体】先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 OIST
先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 沖縄科技大
人工知能(AI)など大量の情報処理が求められる先端半導体の製造に欠かせない「EUVリソグラフィー(極端紫外線露光装置)」の大幅な省エネやコスト削減を図る技術を、沖縄科学技術大学院大学(OIST)の新竹積教授(物理工学)が開発した。装置で使用する反射鏡を従来の10枚から4枚に減らし、消費電力を10分の1に抑えた。
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