【光学/技術】フォトリソプロセスを用いた高性能ナノ光共振器を開発 慶応大
今回試作された幅変化型の模式図(左)と、測定された光共振スペクトル(右)慶應義塾大学(慶応大)は、CMOS互換プロセスを用いて世界最高クラスの性能を実現したナノ光共振器を作製することに成功したと発表した。同成果は、同大大学院理工学研究科の大岡勇太氏(修士課程1年)と同理工学部電子工学科の田邉孝純 准教授らによるもの。
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