【技術】東大、アクリル板と水だけでガラスとシリコン表面の平坦化できる技術を開発
東大、アクリル板と水だけでガラスとシリコン表面の平坦化できる技術を開発著者:波留久泉
東京大学(東大)は3月3日、アクリル板と水道水だけを用いた低コストかつ低環境負荷の革新的な研磨技術を開発したと発表した。同成果は、東大大学院 工学系研究科 精密工学専攻の三村秀和准教授、同・郭建麗大学院生らの研究チームによるもの。
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