【半導体】東大など、半導体露光技術のみを用いたメタレンズの量産手法を開発
東大など、半導体露光技術のみを用いたメタレンズの量産手法を開発東京大学(東大)とJSRの両者は1月17日、これまで必要とされていたいくつもの工程を削減し、半導体露光プロセスのみを用いてメタレンズ(平面状のレンズ)を大量生産できる手法を開発したと共同で発表した。同成果は、東大大学院 理学系研究科の小西邦昭准教授、同・山田涼平特任研究員(研究当時)、JSRの岸田寛之氏らの共同研究チームによるもの。
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